島津製作所、環境負荷を軽減したターボ分子ポンプの最新モデル薄膜コーティング用途向けに｢TMP-V4404LMW形」を発売

【エコビジネス 環境技術】 【掲載日】2022.01.07 【情報源】企業／2021.12.01 発表

　島津製作所は、2022年1月10日に真空蒸着装置やスパッタリング装置が用いられる薄膜コーティング用途向けのターボ分子ポンプ「TMP-V4404LMW形」を国内外で発売。2015年発売の従来機種「TMP-XZ4304LM形」と比べて、排気速度を向上させることでより高品質な成膜が可能になった。起動時間の短縮や防水性能・安全性、省資源につながる製品重量の軽減、消費電力の低減も実現。
　薄膜コーティングとは、真空状態で薄い膜をガラスや金属、樹脂などの基板に付着させる加工技術。スマートフォン・車載用の光学部品、太陽光発電パネル、建築物などに使われるローエミッションガラス（低放射伝熱性ガラス）などの製造工程で機能性・耐久性を持たせる目的で施す。同社は薄膜コーティング工程で真空を作り出す用途のターボ分子ポンプ（TMP）市場で高いシェアを有しており、国内外の真空蒸着装置やスパッタリング装置のメーカーに多様なラインアップのTMP製品を販売している。島津製作所は、経営理念『“人と地球の健康”への願いを実現する』に基づき、今後も環境に配慮したTMPの研究開発に従事していく、としている。
【株式会社島津製作所】