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三フッ化窒素 環境用語

作成日 | 2023.09.01  更新日 | 2023.11.20

三フッ化窒素

サンフッカチッソ   【英】Nitrogen Trifluoride  [略]NF3  

解説

常温常圧では無色、無臭の気体。有害で、助燃性がある。

二酸化炭素メタンクロロフルオロカーボン(CFC)などとともに温室効果ガスの一つである。温室効果の強さは二酸化炭素を1とすると、三フッ化窒素では約17,200倍である。

アンモニアフッ素ガスの反応等により合成され、半導体の製造プロセスで使用される。2021年度の日本の三フッ化窒素排出量は約40万トン(CO2換算)であり、2013年度と比べ120万トン減少した。

地球温暖化対策計画では2030年度の排出量目標を50万トン(2013年度比70%減)としているが、2021年度の排出量は前年度に比べ約13%増加しており、引き続き注意が必要である。(2023年8月作成)

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